EBSD（Electron BackScatterDiffraction ） 材料内部の歪の分布を評価致します。 SEM-EBSDによる歪分布評価 Cat.No 3S2J-022-00-111201 金属、半導体、セラミックス等の結晶方位解析には、 電子線後方散乱回折像から結晶方位を解析するEBSD測定が利用 できます。 EBSD法から岩石中の鉱物相の同定と結晶方位測定を行う際の分析フロー。Nagaya et al., 2017の図を改変。 3. 合金の微細組織変化>Ì 逆極点図方位マップ>Ì （>ú>ð方向から見たときの方位マップ>Õ>Ì 沈み込み帯岩石の構造評価: 上部マントルの含水化でできる蛇紋岩は異方性が強い.

図3.

図2. EBSD (電子線後方散乱回折：Electron Back Scattered Diffraction Pattern)法は、電子線照射により得られた反射電子回折パターンから、個々の結晶の方位情報を取得しマップ化したもので、さらに定量的、統計的なデータとして結晶方位 (配向性)のみならず、結晶粒分布や応力歪等の材料組織状態を調べる手法です。 回折パターン(EBSD)は、電子ビームに対してほぼ90 の位置に配置されたカメラ(検出器)によって、画像データとして取り込まれ、データ処理を経て結晶面の指数付け/方位決めが行われます。試料ステージには、0 ～70 の試料傾斜中、視野 結晶方位について 金属やセラミック等の結晶質のものは、 立方体等の結晶格子が多数集まって構成されていると考えられます。EBSDではそれがどの方向を向いているか(結晶方位)を解析します。 結晶の面方位（111）（110）（0001）などの表し方の基本を説明している書籍・サイトがあれば教えてください結晶構造の(abc）面の意味は、資料 [1] が参考になります（図の緑色の面がその面）。このサイトで結晶構造に関する質問 [2], ebsdのコントラストは試料電流を大きくすると良くなります。 ebsdのコントラストが良いほど、角度の決定の精度が向上します。また、大電流にすることで質の良いebsd結晶方位マップ像を短時間で収集することができます。 方位結晶粒、Brass方位結晶粒、Copper方位結晶粒、及び残 ... シンチレーションカンンタと同様の使い方なので、一般的な測定が可能 入射平行ビームによる極点測定 照射エリアが狭くなり、粒径の影響を受けやすい。 point照射と2D検出器組み合わせで利用

＊磁性材料の結晶方位分析>Ì カラ－キ－の色 で方位を表示>Ì >ú>ð方向に（111）の面方位が 並行 になるよう 強く配向して いる。>Ì >ß>Ù>à>Ì圧延された>ù?

EBSDを用いると、結晶粒の方位分布とともに、歪の分布も調べることができます。 100nmピッチで、主相の方位測定を行いC軸方位、粒界確認、方位差分布を測定できます。 強く配列したアンチゴライトの一例。

る結晶方位解析技術として活用された5）．ただ実際には電子 線をロッキングさせて使うのでビーム径が拡がり，100 μm 程度以上の大きな結晶粒径材料しか使えないため，現在では ebsd 法の出現によりほぼ代替されてしまったことは良く知